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加热防腐型匀胶机?

一、技术原理与核心参数

加热防腐型旋转涂覆仪采用聚四氟乙烯腔体，外观美观坚固，具有优良的化学稳定性和箩颈强的耐腐蚀性，能够用于各种需要抗酸碱和有机溶剂的场合。仪器采用先进的精密电机，转速能达到 12000 转/分，有效的保障了成膜的均匀性。除了基本的旋涂功能，本品还配有加热组件，可以加热到&苍产蝉辫;200℃，由智能温控表控温，温度测定准确，升温过程完辩耻补苍可控。另外本仪器采用触控屏控制，可以预设匀胶曲线，大大简化了使用过程降低了学习成本，十分适合实验室选购。

二、关键性能参数

叁、应用领域

?光电子学领域?：用于制备太阳能电池、有机发光二极管（OLED）、有机太阳能电池（OPV）等器件的薄膜涂层?；

?半导体与微电子制造?：适用于光刻胶旋涂、晶圆表面涂布等工艺，支持最大12英寸晶圆处理?；

?材料科学?：可制备金属、半导体、氧化物及聚合物等材料的均匀薄膜，尤其适合需要抗酸碱和有机溶剂的实验环境?；

?生物医学领域?：用于生物传感器、生物芯片的涂层制备，聚四氟乙烯腔体设计确保化学稳定性与耐腐蚀性?；

?纳米科技?：支持纳米材料与纳米薄膜的制备，高精度控温（室温-200℃）和转速调节（10-12000转/分钟）保障工艺稳定性?。

四、基础操作流程

?A安装与准备?

?连接设备?

连接真空泵气管与电源线，确保螺帽拧紧?。

插入设备电源线并打开总开关?。

?安装吸盘与片托?

根据样品尺寸选择吸盘，对准槽口安装并固定螺丝?。

将片托凹槽对准电机轴顶丝垂直放置?。

B参数设置?

?选择匀胶方案?

进入操作界面，选择预设方案（如5段式参数）或自定义参数?。

?设置转速、时间与加速度?

示例：第一段速度2000转/分钟，时间20秒，加速度2000?1。

分段设置（如第二段3500转/分钟，第叁段10000转/分钟）?。

?温度控制（如需加热）?

设置温度范围（0-200℃），支持手动或自动加热模式?。

C旋涂操作?

?放置样品?

将基片居中放置于片托，启动真空泵吸附固定?。

?启动匀胶?

转速稳定后注入胶液，程序自动分段执行?。

?完成与清洁?

等待转速归零，关闭真空泵并取出样品?。

定期清洁抽气孔（滴酒精维护）?。

D注意事项?

?防腐设计?：聚四氟乙烯腔体可耐酸碱腐蚀，避免接触强氧化剂?。

?安全防护?：加热模块高温，操作时勿触碰?。

五、仪器特点

?1. 防腐设计?

腔体材质采用?聚四氟乙烯（PTFE）?或?聚丙烯（PP）?，抗强酸、强碱及有机溶剂腐蚀?。

部分机型配备?防溅废料罐?和?排液管?，防止腐蚀性液体污染环境?。

?2. 加热与温控功能?

加热范围覆盖?室温至200℃?，控温精度&辫濒耻蝉尘苍;1-2℃，适用于高温工艺（如光刻胶烘烤）?。

支持?分段控温?，部分机型集成?抽废气功能?，确保工艺稳定性?。

?3. 高精度匀胶性能?

转速范围?10-20000转/分钟?，电机采用无刷伺服或德国进口电机，保障薄膜均匀性（厚度误差±1%）?。

部分机型支持?正反转旋涂?和?分段编程?，优化复杂工艺需求?。

?4. 智能化操作?

配备?触摸屏控制?、蓝牙通信及PC端远程控制软件，支持配方存储与掉电保护?。

实时显示?转速曲线?、吸附力及报警功能（如进胶保护、吸附不足互锁）?。

?5. 安全与兼容性?

透明耐腐蚀盖板（丙烯酸材质）隔绝有毒气体，部分机型适配手套箱使用?。

适配半导体、光电子等领域?。

六、配置清单

主机1台；

测试软件1套；

说明书1份;

合格证1份;

保修卡1份;

签收单1份;

铭牌1块;

电源线1根;

扳手1套;

宣传册若干;

加热防腐型匀胶机